半导体设备概念股龙头有：
晶盛机电600584：半导体设备龙头。大陆半导体封测龙头。。
中微公司688012：半导体设备龙头。在中微员工的创新激情、多年的齐心奋斗和合作共赢的精神指引下，中微已经成为一家快速成长的微观加工设备公司，在技术创新、产品优化和市场准入方面取得了重大突破，赢得了众多客户和供应厂商的信任和支持，成为国际半导体微观加工设备产业极具竞争力的一颗新星。
长电科技002371：半导体设备龙头。北方华创是我国的半导体设备龙头企业，现有产品涉及ICP刻蚀、PVD设备、氧化扩散设备、清洗设备等。此外，公司的产品还包括真空设备、锂电材料设备以及精密电子元器件等，四大业务集群构成上市公司主体。其中半导体设备的营收占比2/3以上，是公司最重要的业务和最主要的估值逻辑来源。公司利用股权激励稳固人才基础，通过定增扩大资金来源，依靠客户在产品验证和故障处理方面的支持积累成熟经验，成功在部分领域打破国外垄断，并有望提升市场份额。
北方华创300316：半导体设备龙头。自主研制的产品广泛应用于半导体、光伏、IGBT功率器件、LED光电子以及蓝宝石窗口材料等领域，公司是国内技术领先、国际先进的半导体硅材料、光伏硅材料、LED检测与照明等高端智能化装备和蓝宝石晶体材料供应商与服务商。
半导体设备概念股其他的还有：
通富微电002156：半导体行业成长与全球GDP成长密切相关。
华天科技002185：国内三大封测之一。
可立克002782：间接参股中微半导体；间接持有中微半导体设备有限公司约0.37%股份。
中晶科技003026：公司是国家高新技术企业、全国半导体设备和材料标准化技术委员会成员单位，参与2014版《半导体材料标准汇编》工作，为副主编单位。
华亚智能003043：公司拥有严格的质量控制体系、完善的行业质量认证标准和严苛的合格供应商认证，满足了包括半导体设备领域、和新能源及电力设备、通用设备、轨道交通、医疗器械等其他领域的高端精密金属制造服务的要求，保证了产品的气密性、精密度、外观等各项指标标准。
新莱应材300260：公司先后通过了由德国TüV机构实施的欧盟承压设备指令认证、美国3-A协会实施的3-A卫生标准认证、英国标准协会实施的ISO9001，2008质量管理体系认证等多项国际权威认证，产品符合美国机械工程师协会ASMEBPE、国际半导体设备和材料协会的行业标准。
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