半导体设备概念股有：
华亚智能：从近三年ROTA来看，近三年ROTA均值为15.51%，过去三年ROTA最低为2019年的13.59%，最高为2018年的17.18%。
公司仍主要向国内外半导体设备、新能源及电力设备等领域客户提供精密金属结构件为主。
赛腾股份：从近三年ROTA来看，近三年ROTA均值为8.14%，过去三年ROTA最低为2020年的6.79%，最高为2018年的10.17%。
株式会社主要从事半导体晶圆检查设备和曝光设备的开发、制造、销售以及服务业务，与公司同属于自动化设备研发制造行业，能够与公司实现产业协同，拓宽公司智能制造产品链，并将公司产品线向高端半导体检测设备领域进一步延伸，提高公司技术含量和客户储备，为公司注入经济发展新动力，打造公司新的利润增长点，促进公司业务的长远发展。
矩子科技：从近三年ROTA来看，近三年ROTA均值为13.41%，最高为2018年的21.11%。
公司控制线缆组件的主要客户包括全球领先的金融设备制造商NCR集团、Diebold集团，知名半导体设备制造商UltraClean集团等。
格林达：从近三年ROTA来看，近三年ROTA均值为13.97%，过去三年ROTA最低为2020年的10.43%，最高为2019年的15.82%。
下游应用领域主要为显示面板、半导体、太阳能电池等，主要用于显影、蚀刻、清洗等电子产品制造工艺中。
晶盛机电：从近三年ROTA来看，近三年ROTA均值为9.09%，过去三年ROTA最低为2019年的8.79%，最高为2020年的9.28%。
自主研制的产品广泛应用于半导体、光伏、IGBT功率器件、LED光电子以及蓝宝石窗口材料等领域，公司是国内技术领先、国际先进的半导体硅材料、光伏硅材料、LED检测与照明等高端智能化装备和蓝宝石晶体材料供应商与服务商。
易天股份：从近三年ROTA来看，近三年ROTA均值为9.83%，过去三年ROTA最低为2020年的4.73%，最高为2018年的14.21%。
芯片行业卖铲子龙头，打破国外OLED垄断，主要产品为平板显示器件生产设备，可广泛应用于平板显示器件中显示模组的组装生产，并向半导体微组装设备等领域拓展，京东方、深天马和TCL等面板厂商都有合作，子公司也在半导体设备研发制造发力。
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